超微傳感：0.001μm級分辨率傳感器，精準捕捉納米級表面形貌特征
精密運動：高剛性空氣軸承回轉系統（徑向跳動≤0.05μm），確保測量基準穩定性
抗擾采集：寬頻信號處理能力，實現純凈信號提取
智能隔振：多級隔振系統，有效隔離環境微振動干擾
自動圓柱度諧波分析測量儀FFT-CYA系列
產品參數PRODUCT PARAMETERS
| 項目 | 參數名稱 | FFT-CYA |
| 諧波分析 | 分析波段 | 1-512upr |
| 回轉軸系 | FFT max1 | 0.03μm |
| FFT max2 | 0.02μm | |
| FFT max3 | 0.01μm | |
| 旋轉速度 | 6rpm | |
| 最大測量直徑 | 300mm | |
| 最大工件直徑 | 450mm | |
| 傳感器 | 傳感器量程范圍 | ±500μm |
| 傳感器分辨率 | 最高0.001μm | |
| 水平臂 | 水平移動范圍 | 165mm |
| 水平凸出量 | 25mm | |
| 圓周檢測器 | 圓周采樣點數 | 16384 |
| 圓周分度精度 | 2/10000 | |
| 隔振系統 | 隔振方式 | 全頻帶隔振 |
